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合成石英材料

适用于光学、半导体、光伏、显示面板、光通信、光源等行业应用。

长飞石英公司基于自主CVD合成工艺,使用SiCl4,有机硅烷等原料,结合多种纯化及掺杂技术,制备高品质合成石英材料,为客户提供性能优异、稳定、可定制化的石英材料及产品。

半导体用合成石英

型号

产品类型

典型尺寸 (mm)

产品特性

YS-1220

石英锭

Φ150x100

长飞半导体用合成石英锭,基于多种合成石英制备工艺,具备优异且稳定的各项理化性能:

  • ppb级别杂质含量
  • 羟基含量可控(0.5-1000ppm)

可充分满足半导体、显示面板、光伏生产中各工艺制程的应用需求

Φ300x50

400x400x50

YS-2230/YS-1230

500x500x60

YS-1240

Φ1000x30

YW-1804/1806/1808/1812

石英晶圆

Φ150~300

最小厚度:0.05

YSM-6025/YSM-6025R

掩膜基板

152.4x152.4x6.35

YR-1220 / YR-1230 / YR-1240

石英棒

Φ2~200

最大长度:3000

YT-2220 / YT-2230

石英管

外径范围:15 ~ 90

壁厚范围:1.0 ~ 30

最大长度:2000

 

典型的微量杂质含量(ppm)

型号 Li

Na

K Mg Ca Cu Al Cr Fe Ti OH

YS-1320 / YS-1220

<0.001 ≤0.003 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.001  ≤0.001 ≤0.003 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.005 <1

YS-2330 / YS-2230

<0.001 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.001 ≤0.005 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.008 <250

 

 

光通信,光源用合成石英

典型型号 

典型尺寸 (mm)

OH含量 (ppm)

相对折射率

金属杂质含量(ppb)

产品特性

YT-2120 / YT-2420

外径范围:Φ15 ~ 90

壁厚范围:1.0 ~ 30

最大长度:2000

≤ 1

≤ 50

长飞合成石英管,基于合成石英制备工艺及“无接触法”管材拉制工艺,具备优异且稳定的各项理化性能与外形几何指标:

  • 极佳的深紫外到近红外波段光学透过率
  • 羟基含量可控(0.02-200ppm)
  • 折射率可定制(深掺氟)NA=0.22

可满足光纤预制棒制备、光源、医疗、工业等各行业对石英玻璃的严苛应用要求

YT-2121 / YT-2421

≤ 1

-0.35% ~ 0

YT-2110 / YT-2410

≤ 0.1

YT-2130

50 ~ 200

YT-1121*

≤ 1

-1.1% ~ 0

YR-1120

石英棒

≤ 1

YR-1140

>1(可定制)

 

几何规格与精度(单位:mm)

主要参数 衬管 小规格套管 大规格套管

外径OD

15 ~ 40 40 ~ 60 60 ~ 90

壁厚WT

1.0 ~ 10 2 ~ 15 10 ~ 30
外径公差 ± 0.80 ± 0.80 ± 2.00
壁厚公差 ± 0.30 ± 0.30 ± 0.30
不圆度 ≤ 0.15 ≤ 0.40 ≤ 0.40
偏壁 ≤ 0.15 ≤ 0.45 ≤ 0.45
CSA偏差 ≤ 6.0% ≤ 6.0% ≤ 6.0%
弓曲(mm/m) ≤ 0.70 ≤ 0.70 ≤ 0.70
长度 ≤ 2000 ≤ 2000 ≤ 2000

 

 

光学用合成石英

型号

产品类型

最大尺寸(mm) OH含量(ppm) 光学均匀性(ppm)

应力双折射

(nm/cm)

条纹等级

荧光

气泡

杂质含量(ppb)

产品特性

 

YS-1320

 

石英锭

 

Φ450x45

 

<1

≤2

≤2

5

轻微蓝

0

≤ 100

长飞光学用合成石英锭,基于一步法、两步法等多种合成石英制备工艺,具备优异且稳定的各项理化性能:

  • 极佳的深紫外到近红外波段的光学透过率
  • 优秀的光学均匀性、应力与热吸收控制
  • 羟基含量可控(0.5-1000ppm)
  • 微米级气泡控制

可充分满足精密光学、激光等多种光学应用需求

≤5

≤5

5

轻微蓝

 

YS-2330

 

500x500xH50

 

<250

≤2

≤2

5

≤4

≤5

5

 

①:对光均和应力双折射值,可根据需求提供不同等级产品

②:0级标准:每100cm3玻璃中气泡横截面的总和不超过 0.015mm²,最大颗粒直径满足1/1*0.08

③:条纹等级参照ISO-10110

④:使用254nm泵灯激发

⑤:标准值≤100ppb,典型值≤20ppb

光学均匀性

△n均匀性等级(单位:ppm)

型号

S

H2

H3

H5

H10

YS-1320

≤ 1

≤ 2

≤ 3

≤ 5

≤ 10

YS-2330

≤ 1

≤ 2

≤ 3

≤ 5

≤ 10

①S级可根据需求定制提供

②不同光均等级,对应于相应的尺寸,详细指标可与长飞公司联络确认 

光学透过性能

应力双折射

 

热吸收系数

型号

热吸收系数@1064nm(ppm/cm)

YS-1320

<1

YS-2330

<3

注:热吸收系数测试采用偏转法(1064nm)

 

折射率

谱线波长(nm) 折射率 谱线波长(nm) 折射率 谱线波长(nm) 折射率

184.9

/

404.6

1.469778

643.8

1.456870

193.7

/

435.8

1.466855

656.3

1.456532

194.2

/

479.9

1.463664

706.5

1.455309

248.3

/

486.1

1.463290

852.1

1.452632

296.7

1.488912

508.6

1.462026

1013.98

1.450423

312.6

1.484499

546.1

1.460243

1529.6

1.444629

334.148

1.479930

587.6

1.458639

1970.1

1.438842

361.051

1.475278

589.3

1.458569

2325.4

1.433239

365

1.474698

632.8

1.457178

-

-

①:测试条件:20.0℃,1atm大气压,湿度50.0%

 

Sellmeier方程色散常数

B1

C1

B2

C2

B3

C3

B4

C4

0.017718

-8.44917

0.004587

0.050553

1.09939

0.00784

19.884469

1816.93

Sellmeier Equation:n2-1=B1λ2/(λ2-C1)+B2λ2/(λ2-C2)+B3λ2/(λ2-C3)+B4λ2/(λ2-C4),λ in μm

长飞合成石英-其它指标
  • 机械性能
参数 单位 测试结果
密度 g/cm3 2.20

莫氏硬度

-

7

杨氏模量

GPa

74.20

剪切模量

GPa

31.22

泊松比

-

0.17

抗压强度

GPa

0.113

抗拉强度

MPa

49

弯曲强度

MPa

94.3

 

  • 电学性能
参数 单位 测试结果
介电常数(20°C,500MHz) - 3.90
电阻率(20°C) Ω·cm 0.1*1018
介电损耗角度(tanδ,500MHz)

-

< 0.001

电阻 8.0*1015

 

  • 热学性能
参数 单位 YS-1320 YS-2330
应变点(η=1014.5dPa·s) °C 1070 1000
退火点(η=1013dPa·s) °C 1180 1160
软化点(η=107.6dPa·s) °C 1620 1620

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